熱式氣體流量計是利用傳熱原理，即流動中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關系來測量流量的儀表，氣體進入進氣管道接頭后絕大部分流量過分流器通道，其中很小一部分進入傳感器內部的毛細鋼管，由于分流通道的特殊結構，可以實現這兩部分氣體流量成正比例關系。

　　當流體流動時，流體將上游的部分熱量帶給下游，導致溫度分布發生變化，由電橋測出兩組線圈電阻值的變化值；當流量為零時，測量管上的溫度相對于測量管中心的上下游是對稱的，由線圈和電阻組成的電橋處于平衡狀態，然后得出相應的電阻值，根據兩組所得出的數據，求得兩組線圈平均溫度差，便可以得出質量流量值。

　　熱式氣體流量計測量管加熱方式采用三繞組或兩繞組線繞電阻除管外電阻絲繞組加熱方式外，還有利用管材本身電阻加熱方式。測量管形狀有直管形，還有其它結構，三繞組中一組在中間加熱，兩組分繞兩臂測量溫度。本儀表為了獲得良好的線形輸出，必須保持層流流動，測量管內徑設計得比較小而長度比較長，即有流速低，流量小。為擴大儀表流量，可采用分流方式擴大更大流量和口徑，還可采用在管道內裝管束等層流阻流件等方式，在主管道內裝層流阻流件以恒定比值分流部分流體到流量傳感部件。

　　熱式氣體流量計可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出，這樣很容易實現對流量的數字顯示、累積流量自動計量、數據自動記錄、計算機管理等。對它而言，還可以實現流量的自動控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0～+5V或4～20mA，數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口，能非常方便地與計算機連接，進行自動控制。